会社のデスクに飾っている写真があります。今日は今から３１年前に１人で初めて
設計した装置をご紹介をしたいと思います。(^^)/
貴金属ではトップメーカーであるTN貴金属工業様の研究員様からのご依頼で、バッチ式
スパッタ装置を設計しました。1人で設計し、組立も行いました。経験も技術もまだまだ
不足している２３歳。設計にも苦労して連日深夜残業。ようやく発注にこぎつけたのが
年末でした。部品や購入品が納入され１月の終わりから組立を開始。初号機でしたので
組立も私が行いました。組立てて行く段階で、多数の不具合発生！取り付ける穴が空い
ていない。大きくて相手側にはまらない。干渉してとりつかないなどなど・・。時には
加工課の方が変えられた後に、旋盤やフライスボール盤などで追加工を・・。加工機も
使い方をあまり知らないので、恐る恐る見様見真似で加工するんです。そのうち納期まで
の日程が厳しくなってきて・・。１ヶ月のうち１週間は徹夜でした。寒い２月です。
大きな工場に小さな石油ストーブの前でエアーパック（ぷちぷちです）に包まってミノム
シみたいに仮眠をとっていました。ようやく組立ても形になり、真空引きを行いリーク
チェックを・・。ところが明らかに漏れている「シューーーー」との異音。調べてわかった
んです。チャンバー（真空容器）の大気側（外側）と真空側（内側）にタップ穴が貫通し
合っているんです。絶望でした。溶接担当を呼んできて、貫通している穴をアーク溶接で
埋めてもらったんです。お客様には内緒っ(^_^;) そんなこんなで小さくて、かっこは良
くないですが１台のスパッタ装置を無事に出荷することが出来ました。会社で評価されたことは
１つのことを成し遂げる執念でした。写真は出荷当日、装置と共に誇らしげに・・。
無事に工場に納入し終え、車での帰り道の途中、自販機の前に車を止めて営業の課長がビールを
買ってくれました。「飲めっ」って・・。
納入後もエピソード沢山ありますが、お客様にも喜んで頂き、その後沢山の実験や評価に使って
頂きました。これが私の仕事での原点になっています。この年の１０月に弊社を設立。
この写真を机の脇に飾って、いつも原点を確認しています。皆さんにも仕事に限らず、
様々な原点ありませんか？苦難に直面した時に原点に立ち帰ること必要ですね。
装置の仕様は以下の通りです。
【装置仕様】
・装置名：RVS－６３０Bスパッタ装置（多層膜仕様）
・ステンレス真空チャンバー（６６０ｘ６６０ｘ２６０mm）
・Φ５００回転基板ホルダー（２～３０rpmに可変コントロール式）
真空シールは磁性流体を使用し、RF電圧仕様
・スパッタチャンバー蓋はエアーシリンダーをリフトとして上下開閉７００mm
ロングストロークのエアーシリンダーが会社の在庫で余っていたものを使用
・Φ６“マグネトロンカソード３基（T/S170）
・Φ５２０回転式シャッター機構
・Φ１２０ビューイングポート
※排気系はお客様の手持ちの排気ユニットを使用
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